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超纯水的电阻率可大于 18  M Ω .cm ，或接近 18.3  M Ω .cm 极限值。实验室用超纯水可以分为三个级别：一级水基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物，它可用二级水经进一步处理而制得。二级水一般含有微量的无机、有机或胶态杂质。三级水适用一般实验室实验工作。

其具体分为：

1 、蒸馏水(Distilled Water )

实验室常用的一种纯水，虽设备便宜，但极其耗能和费水且速度慢，应用会逐渐减少。蒸馏水能去除自来水内大部分的污染物，但挥发性的杂质无法去除，如二氧化碳、氨、二氧化硅以及一些有机物。新鲜的蒸馏水是无菌的，但储存后细菌易繁殖 ;此外，储存的容器也很讲究，若是非惰性的物质，离子和容器的塑形物质会析出造成二次污染。

2 、去离子水(Deionized Water )

应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。

3 、反渗水(Reverse osmosis Water)

其生成的原理是水分子在压力的作用下，通过反渗透膜成为纯水，水中的杂质被反渗透膜截留排出。反渗水克服了蒸馏水和去离子水的许多缺点，利用反渗透技术可以有效的去除水中的溶解盐、胶体，细菌、病毒、细菌内毒素和大部分有机物等杂质，但不同厂家生产的反渗透膜对反渗水的质量影响很大。

4 、超纯水(Ultra-pure grade water)

其标准是水电阻率为 18.2  M Ω .cm 。但超纯水在 TOC 、细菌、内毒素等指标方面并不相同，要根据实验的要求来确定，如细胞培养则对细菌和内毒素有要求，而HPLC则要求 TOC低。